Wolter-I型掠入射反射镜的加工

• 作者: 崔天刚 王永刚 陈斌 陈波 马文生
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 掠入射反射镜 柱面内表面 弹性球状小磨头 两步加工法 表面质量
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 743-753
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 2799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111904.0743

摘要

针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型.分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数的影响,通过实验获得了驻留时间和去除函数中心去除深度的关系.采取两步加工法控制研抛后的表面质量,分析表明:当磨头-工件角速度比为1.41时,反射镜的表面质量最好.介绍了计算机控制光学表面成形(CCOS)法加工Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的过程.选择微晶玻璃为反射镜的镜胚,在自行研制的研抛设备上,以不同粒径的氧化铈作为抛光液,对金刚砂砂轮粗磨后的工件进行抛光.通过改变磨头相对工件的压人深度,获得不同大小的磨头去除区域,实现了对上一个抛光周期后的残留误差的有效去除.最终获得的反射镜面形精度为PV:1.39 μm,RMS:0.34 μm,圆度均方根误差优于0.1 μtm.实验结果表明:提出的两步法旋偏加工方案可用于掠人射反射镜的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	陈斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	105	1004	16.0	28.0
3	王永刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	96	7.0	9.0
7	崔天刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	28	2.0	3.0
11	马文生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	37	4.0	6.0