研合膜的厚度对量块组合长度影响的分析

• 作者: 董志欣 金瑾
• 来源期刊: 中国计量
• 学科: 工学
• 关键词: 量块 研合 油膜 长度 厚度 测量准确度 组合使用 干涉法
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 技术篇
• 页码范围: 110-111
• 分类号: TH711.1
• 字数: 1222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9364.2011.10.059

摘要

用绝对光波干涉法测量量块的长度时,由于量块和辅助平晶的研合质量不同,往往多次测量（甚至尺寸不大的量块）所得结果的分散性会达到（0.05~0.08）μm。因此,量块组合使用时,为了保证良好研合,常在量块表面涂上油膜。但是此层油膜的厚度会影响量块的测量准确度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董志欣		1	0	0.0	0.0
2	金瑾		1	0	0.0	0.0