欧洲半导体设备“海豹”计划第一年进展顺利

• 来源期刊: 中国集成电路
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 海豹 欧洲 研究机构 设备创新 SEAL 厂商
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 业界要闻
• 页码范围: 10-11
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

由欧盟出资1400万欧元资助、38家欧洲厂商和研究机构等组成的一项半导体设备创新评估计划（Semiconductor Equipment Assessment Leveraging Innovation—SEAL，简称“海豹”计划）实施一年来进展顺利。最近该项目的年度评审报告对3家厂商和研究机构进行了表扬，