日盲紫外告警系统中成像滤光片的研制

• 作者: 付秀华 孔辉 孙英杰 张静 王正凤
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 紫外干涉截止滤光片 离子辅助沉积 紫外告警
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 148-151
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1207002

摘要

为满足紫外告警系统成像需要,实现对太阳光谱盲区光子图像接受检测的作用,研制了一种紫外成像滤光片.采用电子束(EB)加热蒸发和离子辅助沉积(IAD)的方法,在熔融石英(JGS1)基底上镀氧化铪、氟化镁、紫外二氧化硅等薄膜材料,并借助石英晶体振荡法和光电极值法相结合的方式监控膜层厚度,镀制了满足入射角0°～25°范围内240～280 nm波段透射、300～620 nm波段抑制的紫外滤光片.通过对膜系优化设计和工艺参数的研究,解决了薄膜脱膜、膜厚的精确控制、材料的吸收等问题.制备的滤光片经膜层性能测试,基本满足告警系统的要求.