离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片

• 作者: 邓文渊 金春水
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束溅射 “日盲”紫外诱导透射滤光片 ZrO2 折射率 消光系数 椭偏光谱
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2884-2890
• 分类号: O484.4
• 字数: 4410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111912.2884

摘要

对“日盲”紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺.利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air (SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数.在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了“日盲”紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能.光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264 nm,峰值透过率大于60.0％,透过峰带宽(FWHM)约为13 nm,在300～350 nm波段的截止度达到了2.6OD.研究认为制约离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片性能的主要因素是Al金属膜的溅射沉积速率以及沉积Al膜时腔体中残余的O2含量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
2	邓文渊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	187	7.0	13.0