三光束激光干涉光刻的实现方法

• 作者: 刘国强 周崇喜 张锦
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉光刻 三光束 图形稳定性 周期性点阵
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 2011全国先进光学制造与战略新兴产业发展论坛暨学术会议论文
• 页码范围: 3250-3254
• 分类号: O436.1
• 字数: 2115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20112312.3250

摘要

分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性.利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光,对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600nm、高度350nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	76	311	11.0	14.0
5	张锦	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	26	204	8.0	13.0
7	周崇喜	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	28	264	10.0	15.0