镀膜金刚石膜层的俄歇分析

• 作者: 尹翔 徐燕军 柳成渊 沈翔 罗锡裕
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜金刚石 俄歇分析 镀层
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 50-52
• 分类号: TQ164
• 字数: 1870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2012.01.013

摘要

镀膜金刚石在现代金刚石制品中的应用愈来愈重要,我们对镀铬和镀钛两种金刚石的镀层作了俄歇分析.结果表明:俄歇能较准确分析膜层元素原子数分数、膜层厚度；所用镀铬和镀钛金刚石,镀层中分别除碳、铬元素,碳、钛元素外,均含有氧元素,这是镀层表面氧化所致；所用镀铬和镀钛金刚石,相对稳定的镀层厚度分别约为25 nm,360 nm.XRD线谱分析,镀铬金刚石镀层由于太薄,未发现衍射相,镀钛金刚石镀层却有TiC为基的固溶体形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗锡裕		7	38	4.0	6.0
5	徐燕军		10	46	5.0	6.0
7	柳成渊		5	21	4.0	4.0
9	尹翔		10	23	3.0	4.0
15	沈翔		3	10	2.0	3.0