薄膜材料的制备与表征方法研究进展

• 作者: 季鑫 宓一鸣 李明 言智
• 来源期刊: 上海工程技术大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜分类 制备 分析方法 薄膜分析技术应用
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与生态化工
• 页码范围: 125-128,132
• 分类号: TB43
• 字数: 4241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.02.007

摘要

材料的表面与基体内部在结构和性能上都会存在差异,这就要求对薄膜材料的制备及其表征方法有基本的了解.分析了薄膜材料的分类、常见制备方法及其原理,对材料表面的组分、结构、形貌等分析方法进行了归纳总结,并利用XRD,SEM,EDAX等进行逐项表征,获得了完整的材料表面信息,得出了薄膜材料的工艺制备,采用磁控溅射的方法较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季鑫	上海工程技术大学基础教学学院	16	115	5.0	10.0
2	宓一鸣	上海工程技术大学基础教学学院	37	195	7.0	13.0
3	言智	上海工程技术大学材料工程学院	14	89	5.0	9.0
4	李明	上海工程技术大学材料工程学院	14	38	3.0	6.0