行走式尺蠖压电直线驱动器研究现状及关键技术综述

• 作者: 周莎莎 王坤 马立
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 尺蠖运动 箝位机构 微位移检测 PID控制
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 82-85
• 分类号: TP272
• 字数: 3493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2012.07.020

摘要

尺蠖压电驱动器具有大行程、高精度、大输出力、快速响应、无磁场影响等优点,在超精密定位领域具有广泛的应用前景.而行走式尺蠖压电驱动器又以箝位机构结构简单、刚度和动态性能好,中间驱动机构偏摆小,整体体积小,运动稳定性好等特性引起世界各国的关注.在阐述行走式尺蠖压电驱动器的本质、组成结构及运动原理的基础上,对其国内外研究现状及其关键技术进行了分析,并对其发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马立	上海大学机电工程与自动化学院	15	446	10.0	15.0
5	周莎莎	上海大学机电工程与自动化学院	3	47	2.0	3.0
6	王坤	上海大学机电工程与自动化学院	9	47	4.0	6.0