基于超声原子力显微镜的检测技术及应用研究

• 作者: 何存富 张改梅 袁玮 陈强 鲁建东
• 来源期刊: 中国印刷与包装研究
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂 超声原子力显微镜 纳米薄膜 弹性性能 次表面缺陷
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 34-40
• 分类号: TH742
• 字数: 3206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5752.2012.03.006

摘要

随着纳米材料和纳米技术的发展,对纳米级横向分辨率弹性测量及对次表面缺陷纳米范围成像方法的需求日趋增加,而目前传统的测试方法无法满足纳米尺度的弹性及次表面缺陷的检测.本研究提出的超声原子力显微镜技术,将原子力显微镜与超声方法相结合,即通过使原子力显微镜探针的悬臂梁或被测试件作超声振动,实现在纳米或亚微米尺度无损检测材料的弹性性能.本文基于原子力显微镜,通过激励试样底部的传感器,并采用锁相放大器调制出悬臂梁的振幅,构建了超声原子力显微镜系统,理论分析了超声原子力显微镜的悬臂梁超声振幅成像机理,通过实验得到SiOx纳米薄膜的超声幅值影像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何存富	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	356	4897	36.0	53.0
2	陈强	北京印刷学院等离子体物理与材料实验室	125	542	10.0	17.0
3	鲁建东	北京印刷学院等离子体物理与材料实验室	17	24	2.0	3.0
4	张改梅	北京印刷学院等离子体物理与材料实验室	46	170	6.0	12.0
5	袁玮	北京印刷学院等离子体物理与材料实验室	7	15	2.0	3.0