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摘要:
为了揭示模具深宽比、膜厚对抗蚀剂填充特性的影响规律,采用计算流体动力学方法对紫外纳米压印过程进行计算.计算模型考虑了表面张力、接触角等因素,计算分析不同模具凹槽深宽比、抗蚀剂初始膜厚时对应的抗蚀剂填充形貌.通过分析发现,在抗蚀剂初始膜厚一定的条件下,随着模具凹槽深宽比的减小,抗蚀剂倾向以双峰模式填充凹槽,填充廓线峰值点沿水平方向呈阶梯形迁移,深宽比越小,阶梯效应越明显.当抗蚀剂初始膜厚减小时,抗蚀剂填充方式将由单峰模式向双峰模式转换,在双峰模式下抗蚀剂填充率随填充时间的变化率呈明显的非线性特征.通过分析厚宽比TWR发现,单、双峰转换的临界范围为5∶8<TWR<2∶3.
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文献信息
篇名 纳米压印模具及膜厚对抗蚀剂填充特性的影响
来源期刊 浙江大学学报(工学版) 学科 物理学
关键词 纳米压印 填充特性 深宽比 初始膜厚
年,卷(期) 2012,(7) 所属期刊栏目 机械与能源工程
研究方向 页码范围 1175-1181
页数 7页 分类号 O359
字数 语种 中文
DOI 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.07.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 魏正英 117 990 18.0 27.0
2 唐一平 54 860 17.0 27.0
3 杜军 26 49 4.0 7.0
4 何威 4 0 0.0 0.0
5 熊孝东 3 4 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
纳米压印
填充特性
深宽比
初始膜厚
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
浙江大学学报(工学版)
月刊
1008-973X
33-1245/T
大16开
杭州市浙大路38号
32-40
1956
chi
出版文献量(篇)
6865
总下载数(次)
6
总被引数(次)
81907
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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