基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制

• 作者: 丁仁伟 耿照新 邢冰冰
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微泵 微阀 SU-8
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 113-119
• 分类号: TH302
• 字数: 4600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2012.02.004

摘要

为解决微泵自吸困难、难以实现流速精确控制等问题,利用MEMS技术研制出具有三明治结构和两被动阀的压电驱动微泵,其中泵腔、泵膜和阀片分别由硅、聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8构成.从理论上,分别对气体和液体微泵的工作原理、被动阀性能以及结构参数对微泵工作性能的影响进行了分析.综合两类微泵特点,提出了气液两用微泵设计方案、工艺流程及其优化方案.在不同驱动电压条件下测试了具有不同形状泵腔、不同阀口尺寸和不同类型阀片结构的微泵.实验结果表明,该微泵可用于气体和液体介质,气、液体的最大流量分别达到53.6mL/min和1 280μL/min；泵腔高度影响到微泵的体积压缩比,是影响微泵自吸的一个重要因素.该泵具有结构简单、自吸、低成本、易于加工及操作方便的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿照新	中央民族大学信息工程学院	15	75	5.0	8.0
3	丁仁伟	中央民族大学信息工程学院	6	35	4.0	5.0
4	邢冰冰	中央民族大学信息工程学院	9	22	3.0	4.0