压阻式压力传感器性能的研究

• 作者: 张鉴 阎文静 高香梅
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压阻式压力传感器 弹性膜 灵敏度 线性度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 14-17,13
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2012.02.003

摘要

微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的器件之一,它结构简单、用途广泛.本文介绍了基于压阻效应及惠斯顿电桥的压阻式压力传感器.介绍了膜的面积、厚度、电阻形状和位置等参数对压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鉴		34	291	9.0	16.0
2	高香梅	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	2	38	2.0	2.0
3	阎文静	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	24	1.0	1.0