微笔-激光直写组合加工制备多电极阵列系统

• 作者: 刘建国 曹宇 曾晓雁
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多电极阵列 微笔 激光 直写 电子浆料
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 无线电电子学、电信技术
• 页码范围: 1004-1007,1033
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2012.06.007

摘要

针对传统的硅基微加工技术因依赖掩模光刻技术而柔性化程度低的不足,以石英玻璃为基底、金为微电极材料体系,利用微笔-激光直写组合加工技术制作了带有微区温控特性的多电极阵列系统.实验结果表明:金电极导体线宽44 μm,膜厚12 μm,平均电阻率1.2×10-6Ω·cm,电极阻抗随频率的升高而降低,在低频时表现为容抗特性,具有较好的阻抗重复精度；用于微区温控的环形加热电阻在15～28 V,通电电压对微区加热温度的关系具有较好的线性控制能力,环形热敏电阻在15.0～80.0℃范围内的电阻温度系数值为2 805× 10-6/℃,温度响应性能满足应用要求.