一种小型重力补偿器的研究

• 作者: 吴立伟 夏海 方洁 齐芊枫
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 小型重力补偿器 隔离振动 工件台
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设各
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.006

摘要

光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术，其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究，给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计，通过实验表明了设计符合需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐芊枫		3	12	2.0	3.0
2	吴立伟		2	5	1.0	2.0
3	方洁		2	5	1.0	2.0
4	夏海		1	1	1.0	1.0