电镀铜薄膜力学性能的实验研究

• 作者: 张铮 熊吉 苏飞 邵将
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 电镀铜 纳米压痕法 声发射 疲劳寿命 力学性能
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 565-569
• 分类号: O348
• 语种: 中文

摘要

电子器件中大量使用铜膜作为电信号通道,而且一般采用电镀工艺制成.铜膜的力学性能参数对于其热疲劳可靠性的研究非常重要.目前有关该材料的力学性能研究尚不充分,而且数据极为不统一.本文借助于纳米压痕法、声发射等实验手段对电镀铜薄膜的静态力学性能(包括弹性模量和屈服强度等)及疲劳性能进行了测试.结果发现,与大块铜材料相比,电镀铜薄膜的弹性模量低很多,但屈服强度与大块铜材料相当,甚至高出200％.同时,本文采用弯曲疲劳实验,以电阻变化为失效判据,对镀铜材料的疲劳性能进行了测试,获取了该材料不同失效判据下的疲劳寿命预测模型的系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张铮	北京航空航天大学航空科学与工程学院	36	39	4.0	5.0
2	邵将		9	69	5.0	8.0
3	苏飞	北京航空航天大学航空科学与工程学院	18	30	4.0	5.0
4	熊吉	北京航空航天大学航空科学与工程学院	2	11	2.0	2.0