超薄MoN扩散阻挡层的扩散阻挡性能分析

• 作者: 刘春海 叶松 崔学军 王龙 金永中
• 来源期刊: 四川理工学院学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 MoN 扩散阻挡层 热稳定性
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 化学、生物及材料科学
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.6
• 字数: 1241字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法，制备了超薄MoN扩散阻挡层，并对Cu／MoN／Si体系进行真空退火。用四点探针（FPP）、X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）进行薄膜电性能和微结构表征。分析结果表明，MoN作为Cu扩散阻挡层结构具有良好的热稳定性，失效温度达到600℃，明显优于Mo扩散阻挡层。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘春海		1	0	0.0	0.0
2	王龙		1	0	0.0	0.0
3	崔学军		1	0	0.0	0.0
4	金永中		1	0	0.0	0.0