电子级氢氟酸的纯化技术及其发展现状

• 作者: 刘飞 尹峰 蒋月明 邱祖军
• 来源期刊: 硫磷设计与粉体工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磷矿石 氟资源 电子级氢氟酸 质量标准 纯化技术 发展现状
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 44-48
• 分类号: TQ124.3
• 字数: 3947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1904.2012.01.013

摘要

随着我国对萤石资源限制，磷矿石中伴生的氟是获取氟资源的一个重要途径，电子级氢氟酸作为氟精细化学品的一种，是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。介绍了电子级氢氟酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状，指出将湿法磷酸的副产物氟硅酸用于生产电子级氢氟酸的原料无水氟化氢，实现资源综合利用，发展循环经济，延长磷化工产业链．对保护萤石战略资源具有重大的战略意义，经济效益和社会效益都十分明显。