高纯三氯氢硅生产中磷硼杂质的去除

• 作者: 杨邦美 黄小明
• 来源期刊: 化工生产与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 磷硼杂质 高沸物 低沸物 多晶硅
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 55-56,64
• 页数: 3页
• 分类号: TQ172.2
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6829.2012.05.015

摘要

根据生产实践,总结分析了磷、硼杂质在三氯氢硅中的存在形式以及磷硼元素对多晶硅品质的影响.磷系化合物主要是以高沸物存在,少量以低沸物存在,通过加大各塔塔底的排放可以除去;硼系化合物80％左右是以高沸形式存在,15％左右是以低沸形式存在,还有5％左右的杂质沸点是同一工况下高于三氯氢硅,但低于四氯化硅的沸点.除硼成了三氯氢硅提纯的关键因素,合理控制各塔的排高排低除去硼杂质,降低精馏塔单位产品能耗,提高精馏塔的生产能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄小明		6	12	1.0	3.0
2	杨邦美		6	12	1.0	3.0