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摘要:
EVG620HBL Gen Ⅱ是EVG用于高亮度发光二极管(HB-LED)批量生产的第二代全自动掩模对准系统。GenⅡ在发布第一代EVG620HBL的1年后推出,提供一个工具平台,主要用于满足HB-LED客户的特定需求,以及市场对降低总所有权成本的不断要求。
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文献信息
篇名 用于LED制造的EVG620HBL GenⅡ掩模对准系统
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 HB-LED 对准系统 掩模 高亮度发光二极管 制造 批量生产 全自动 第二代
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目 企业之窗
研究方向 页码范围 61-61
页数 1页 分类号 TN312.8
字数 595字 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
HB-LED
对准系统
掩模
高亮度发光二极管
制造
批量生产
全自动
第二代
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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3731
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