碳化硅衬底超精密加工技术

• 作者: 张广冬 张红蕾 袁铁军
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割 双面研磨 ELID磨削 化学机械抛光 超光滑表面
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 26-29,39
• 分类号: TH161
• 字数: 3549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2012.07.007

摘要

通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合；磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削；抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面.分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁铁军	盐城工学院机械学院	28	98	7.0	8.0
2	张红蕾	盐城工学院机械学院	11	18	3.0	3.0
3	张广冬	盐城工学院机械学院	20	58	5.0	7.0