清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响

• 作者: 丁涛 叶晓雯 沈正祥 王占山 王孝东 程鑫彬 马彬
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 偏振分光膜 清洗 弱吸收 损伤阈值 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2338-2342
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122410.2338

摘要

采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响.结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度也越小,相应的偏振分光膜S光的损伤阈值越高；清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心,吸收性杂质分布密度越小,吸收峰越低,P光的损伤阈值越高.