非共振光声红外气体传感器结构参量分析

• 作者: 何秀丽 李建平 管人宝 贾建 赵玲 高晓光
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 非共振光声 红外气体传感器 MEMS光源 吸收效率
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-3,21
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3262字
• 语种: 中文

摘要

非共振光声红外气体传感器在气体检测领域有很好的应用前景.对基于MEMS红外光源的非共振光声红外气体传感器进行了一维模拟,分析了光声腔及红外吸收光路结构对传感器性能的影响；计算了吸收腔气体压强变化量与吸收腔长度及调制频率的关系,研究了光路内壁反射率、样品气室长度对样品气体红外吸收效率的影响.简化的理论分析和计算结果,可以为非共振光声红外气体传感器的结构设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	赵玲	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	25	216	7.0	13.0
6	管人宝	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	8	2.0	2.0