P型微晶硅碳的性能研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用

• 作者: 张德贤 胡居涛 蔡宏琨 赵敬芳 陶科
• 来源期刊: 太阳能学报
• 关键词: 微晶硅碳薄膜 太阳电池 柔性衬底 PEN
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 页码范围: 1841-1844
• 页数: 4页
• 字数: 2347字
• 语种: 中文

摘要

采用RF-PECVD技术,将甲烷(CH4)作为碳的掺杂源沉积P型微晶硅碳薄膜材料,主要讨论P型微晶硅碳材料的结构和性能随CH4掺杂量的变化.采用X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪和傅里叶变换红外吸收光谱仪(FTIR)对薄膜的结构进行表征.随CH4掺杂量的增加,材料的暗态电导率σd减小,薄膜的晶化程度降低.通过调整CH4的掺杂量得到暗态电导率σd为0.15S/cm和光学带隙Eg大于2.0eV的P型微晶硅碳材料.将其应用到PEN柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池上,得到电池效率为5.87％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张德贤	南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系	22	77	5.0	8.0
2	蔡宏琨	南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系	13	26	3.0	4.0
3	赵敬芳	南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系	3	7	1.0	2.0
4	胡居涛	南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系	2	0	0.0	0.0
5	陶科		1	0	0.0	0.0