篇名 | Influence of sputtering power on properties of ZnO thin films fabricated by RF sputtering in room temperature | ||
来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 工学 |
关键词 | ZnO薄膜 室温性能 溅射功率 溅射制备 RF 扫描电子显微镜 霍尔迁移率 X-射线衍射 | ||
年,卷(期) | zgkx_2012,(4) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 951-955 | |
页数 | 5页 | 分类号 | TN304.21 |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI |