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Influence of sputtering power on properties of ZnO thin films fabricated by RF sputtering in room temperature
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摘要：
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Thermodynamic properties of San Carlos olivine at high temperature and high pressure
San Carlos olivine
Thermodynamic property
Thermal expansion
Heat capacity
Temperature gradient
The influence of climate and topography on chemical weathering of granitic regoliths in the monsoon
Granitic regolith
Chemical weathering
Supply-limited weathering
Kinetic-limited weathering
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文献信息
| 篇名 | Influence of sputtering power on properties of ZnO thin films fabricated by RF sputtering in room temperature | ||
| 来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | ZnO薄膜 室温性能 溅射功率 溅射制备 RF 扫描电子显微镜 霍尔迁移率 X-射线衍射 | ||
| 年，卷（期） | zgkx_2012,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 951-955 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN304.21 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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