SOI材料在光电子学中的应用

• 作者: 杨笛 陈媛媛
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 光波导 硅基 光电子学 热光 电光
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 13-17
• 分类号: TN252
• 字数: 2405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2012.01.003

摘要

SOI材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料.近年来随着SOI材料制备和加工技术的成熟,SOI基光波导器件的研究日益受到人们的重视.文章介绍了SOI材料在光电子学领域的一些具体应用,包括了在热光器件、电光器件、亚微米波导器件与光纤的耦合器以及光电子集成芯片等方面的最新研究进展.更小的波导截面尺寸是未来SOI光波导器件发展的必然趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨笛	中央民族大学理学院	15	43	5.0	5.0
2	陈媛媛	北京工商大学计算机与信息工程学院	21	101	4.0	9.0