微小孔近场衍射光强的空间分布及仿真

• 作者: 蒲继祖 贾亚飞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 接近式曝光 微小孔 近场衍射
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1079字
• 语种: 中文

摘要

阐述了微小孔近场衍射的基本理论。重点对单色光垂直入射时圆孔衍射场的光强空间分布进行了计算机数值模拟。通过对不同半径圆孔的衍射场光强进行仿真，分析得到了衍射场光强的空间分布特性。对接近式曝光技术参数的设定具有理论指导意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾亚飞	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	1	1.0	1.0
2	蒲继祖	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	0	0.0	0.0