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摘要:
通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜.Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15nm,表面粗糙度为16.56nm,薄膜平均生长速率约为0.6 μm/h.此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法.
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金刚石薄膜
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
来源期刊 现代化工 学科 工学
关键词 富勒烯C60 超纳米晶金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目 科研与开发
研究方向 页码范围 75-78
页数 分类号 TB34
字数 2972字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.05.018
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王兵 西南科技大学材料科学与工程学院 41 255 9.0 14.0
2 叶勤燕 西南科技大学材料科学与工程学院 2 4 1.0 2.0
3 熊鹰 西南科技大学材料科学与工程学院 13 16 3.0 3.0
4 王东 西南科技大学材料科学与工程学院 2 3 1.0 1.0
5 周亮 西南科技大学材料科学与工程学院 2 1 1.0 1.0
6 吴高华 西南科技大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
富勒烯C60
超纳米晶金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代化工
月刊
0253-4320
11-2172/TQ
大16开
北京安外小关街53号
082-67
1980
chi
出版文献量(篇)
9409
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