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基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
作者:
叶勤燕
吴高华
周亮
熊鹰
王东
王兵
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
富勒烯C60
超纳米晶金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积
摘要:
通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜.Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15nm,表面粗糙度为16.56nm,薄膜平均生长速率约为0.6 μm/h.此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法.
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文献信息
篇名
基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
来源期刊
现代化工
学科
工学
关键词
富勒烯C60
超纳米晶金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积
年,卷(期)
2012,(5)
所属期刊栏目
科研与开发
研究方向
页码范围
75-78
页数
分类号
TB34
字数
2972字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.0253-4320.2012.05.018
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
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1
王兵
西南科技大学材料科学与工程学院
41
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2
叶勤燕
西南科技大学材料科学与工程学院
2
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熊鹰
西南科技大学材料科学与工程学院
13
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4
王东
西南科技大学材料科学与工程学院
2
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周亮
西南科技大学材料科学与工程学院
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西南科技大学材料科学与工程学院
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超纳米晶金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
现代化工
主办单位:
中国化工信息中心
出版周期:
月刊
ISSN:
0253-4320
CN:
11-2172/TQ
开本:
大16开
出版地:
北京安外小关街53号
邮发代号:
082-67
创刊时间:
1980
语种:
chi
出版文献量(篇)
9409
总下载数(次)
26
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