基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长

• 作者: 叶勤燕 吴高华 周亮 熊鹰 王东 王兵
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 富勒烯C60 超纳米晶金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 75-78
• 分类号: TB34
• 字数: 2972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-4320.2012.05.018

摘要

通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜.Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15nm,表面粗糙度为16.56nm,薄膜平均生长速率约为0.6 μm/h.此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兵	西南科技大学材料科学与工程学院	41	255	9.0	14.0
2	叶勤燕	西南科技大学材料科学与工程学院	2	4	1.0	2.0
3	熊鹰	西南科技大学材料科学与工程学院	13	16	3.0	3.0
4	王东	西南科技大学材料科学与工程学院	2	3	1.0	1.0
5	周亮	西南科技大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0
6	吴高华	西南科技大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0