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提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
作者:
巩岩
赵阳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
几何光学
非平行反射扩束单元
子光束叠加
照明均匀性
摘要:
在曝光线宽为90 nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析.结果表明,平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某区域透射率存在矛盾,制约了照明光束均匀性的提高.为此,提出了非平行反射扩束镜组,推导了出射光束尺寸、叠加子光束个数与两反射镜楔角之间的关系式,确定了楔角的取值范围和扩束单元的结构形式.通过建模分析,验证了设计的扩束单元在实现光束一维扩束的同时,不仅减小了叠加光束的干涉散斑效应,还提高了光束均匀性.
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文献信息
篇名
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法
来源期刊
光学学报
学科
物理学
关键词
几何光学
非平行反射扩束单元
子光束叠加
照明均匀性
年,卷(期)
2012,(8)
所属期刊栏目
光学设计与制造
研究方向
页码范围
153-159
页数
7页
分类号
O435.1
字数
语种
中文
DOI
10.3788/AOS201232.0822004
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
巩岩
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
72
423
13.0
17.0
2
赵阳
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
32
397
12.0
19.0
传播情况
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几何光学
非平行反射扩束单元
子光束叠加
照明均匀性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
0253-2239
CN:
31-1252/O4
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号(上海800-211信箱)
邮发代号:
4-293
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
11761
总下载数(次)
35
总被引数(次)
130170
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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