组合法制备Pb(ZrxTi1-x)O3组分梯度薄膜

• 作者: 何岗 何明中 公衍生 彭超 栗海峰 洪建和
• 来源期刊: 武汉理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 组合合成 Pb(ZrxTi1-x)O3 组分梯度薄膜 铁电性
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 7-11
• 分类号: TM22.1|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.1671-4431.2012.01.002

摘要

在无蒸馏和无惰性气氛保护的条件下,快速制备了用于组合合成Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜的前驱溶液PT和PZ.采用组合法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一系列Pb(ZrxTi1-x)O3组分梯度薄膜.经XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为(111).SEM结果显示薄膜厚度在500 nm左右.电滞回线的测试表明,下梯度薄膜PZT-654表现出良好的铁电性能,明显优于其它薄膜.PZT-654梯度薄膜的剩余极化强度Pr为38.4 μC/cm2,矫顽场Ec为75.0 kV/cm,有较大的极化偏移,Poffset为12.9 μC/cm2,表现出梯度铁电薄膜的特性.