CxH1-x薄膜制备

• 作者: 吴卫东 张占文 罗江山 黄勇
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 低压等离子体 CxH1-x薄膜 傅里叶变换红外光谱 xPS谱
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 319-322
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.008

摘要

以反式-2-丁烯为工作气体,采用低压等离子体化学气相沉积法制备CxH1-x薄膜.研究了在不同的H2与反式-2-丁烯流量比下制备的CxH1-x薄膜的傅里叶变换红外光谱(FT-IR)及xPS谱的特性.初步探讨了CxH1-x的生长机理.膜中sp3杂化碳原子和sp2杂化碳原子的数量以及两者的比例与沉积条件有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	140	1087	18.0	26.0
2	张占文	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	80	531	12.0	16.0
3	黄勇	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	38	270	9.0	15.0
4	罗江山	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	67	469	11.0	16.0