Pb(Zrx,Ti1-x)O3成分梯度铁电薄膜的制备、结构及电性能表征

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 快速热处理 热释电系数
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 250-254
• 页数: 5页
• 分类号: TM221
• 字数: 3714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.04.003

摘要

采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zrx,Ti1-x)O3成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的"上梯度"薄膜进行了成分深度分析,结果证实其成分梯度的存在.经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.经介电频谱测试表明,梯度薄膜的介电常数比每个单元的介电常数都大,但介电损耗相近.在10 kHz时,上、下梯度薄膜的介电常数分别为206和219.经不同偏压下电滞回线的测试表明,上、下梯度薄膜均表现出良好的铁电性质,其剩余极化强度Pr分别为24.3和26.8 μC·cm-2.经热释电性能测试表明,热释电系数随着温度的升高逐渐增加,室温下上、下梯度薄膜的热释电系数分别为5.78和4.61×10-8 C·cm-2K-1,高于每个单元的热释电系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	苏州科技学院电子与信息工程系	21	63	6.0	7.0