一种梳齿力平衡式微加速度计

• 作者: 何晓平 刘恒 刘清惓 杜连明
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 力平衡 非线性误差 反馈
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 16-18,21
• 分类号: TN911.71
• 字数: 3520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.06.007

摘要

讨论了一种多梳齿力平衡式微机械加速度计表头系统工作原理.因加速度计制造中存在的间距不对称,提出通过调节正负反馈电压比的方法来减小输出非线性误差,并得到了调节的约束关系式.通过体硅深宽比刻蚀和微键合工艺制造了加速度计并进行了封装,闭环电路实验测试得到在未修正系数前,加速度计在量程为-60 ～65 g时最大非线性误差为-0.8％,修正后满量程最大非线性误差为0.08％.试验结果与理论分析能很好地吻合,验证了方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
2	刘恒	南京信息工程大学电子与信息工程学院	31	75	4.0	6.0
6	杜连明	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	34	4.0	5.0
7	刘清惓	南京信息工程大学电子与信息工程学院	42	91	5.0	7.0