同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究

• 作者: 宋丽 张翼飞 林维豪 王劼 罗红心
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 菲佐干涉仪 绝对检测 镜面旋转对称 斜率误差
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 129-135
• 页数: 7页
• 分类号: TH744|TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201232.0912005

摘要

为实现同步辐射用光学元件面形的绝对检测,发展了镜面旋转对称三平板检测法.该方法将菲佐干涉法检测到的波前函数关于y轴分解成镜面对称部分与镜面非对称部分,再利用N次旋转取平均值消除镜面非对称部分,从而通过计算获得待测平面的绝对面形分布.推导了镜面旋转对称法检测矩形平面镜面形的公式,应用该方法设计了高精度矩形平面镜的测试实验,并进行了误差分析.实验结果表明,与传统三平板绝对测量方法相比较,两种方法在高度轮廓误差和斜率误差方面的计算结果都符合较好,其对比后的残差均方根(RMS)值分别为λ/500(λ=632.8 nm)与0.93 μrad.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王劼	中国科学院上海应用物理研究所(上海原子核研究所)	38	128	6.0	7.0
2	罗红心	中国科学院上海应用物理研究所(上海原子核研究所)	7	35	3.0	5.0
3	宋丽	中国科学院上海应用物理研究所(上海原子核研究所)	18	303	7.0	17.0
4	张翼飞	中国科学院上海应用物理研究所(上海原子核研究所)	10	22	3.0	4.0
5	林维豪	中国科学院上海应用物理研究所(上海原子核研究所)	1	0	0.0	0.0