新型添加剂对单晶硅表面金字塔形貌的影响

• 作者: 冯仕猛 刘峰 徐华天 杨树泉 王坤霞 田嘉彤 裴份 黄建华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 绒面结构 刻蚀碱液 反射率
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 404-408
• 分类号: TN204
• 语种: 中文

摘要

单晶硅表面微结构对晶体硅光电转换性能有非常重要的影响,晶体硅表面微结构的调节技术一直是半导体、太阳能电池领域研究的热点之一.利用碱液与单晶硅异向腐蚀特性的刻蚀技术,在单晶硅表面可以获得布满金字塔的绒面,但普通碱液刻蚀的绒面,其金字塔大小、形貌和分布随机性大,不利于提高硅太阳电池的转换效率.在普通的碱腐蚀液中加入不同量的特种添加剂,然后在相同的温度、时间下刻蚀单晶硅表面,通过观察样品表面SEM图,发现在普通碱液中加入适量添加剂后刻蚀的单晶硅表面能形成均匀密集分布金字塔,金字塔大小在2—4μm之间,棱边圆滑,表面金字塔覆盖率高;用积分反射仪测量了样品的反射率曲线,发现样品平均反射率下降到12.51%.实验结果表明,在普通碱液中加入特种添加剂,能控制单晶硅表面金字塔的大小和分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨树泉		7	40	4.0	6.0
2	刘峰		2	15	2.0	2.0
3	黄建华		1	6	1.0	1.0
4	裴份		1	6	1.0	1.0