塔顶全凝器在多晶硅尾气回收技术中的应用

• 作者: 袁学民 裴艳红 马国栋
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 尾气回收 全凝器
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 75-78
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文

摘要

在目前多晶硅生产工艺中,美国CDI尾气回收技术应用非常广泛.但是由于其分离出来的氯化氢气体中混有大量的氢气,且没有设置缓冲储罐来储存氯化氢,对后续工段的生产会造成不利影响.将其塔顶分凝器改为全凝器,降低了氯化氢中氢气的含量,增加了液态氯化氢储罐,缩小了塔的直径,降低了三氯氢硅工段产生的副产物对尾气回收工段的影响,保证了后续工段的正常生产,同时也降低了塔的投资成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁学民		6	57	2.0	6.0
2	马国栋		4	24	2.0	4.0
3	裴艳红		1	1	1.0	1.0