多晶硅氢化炉多场耦合的数值模拟

• 作者: 周乃君 夏小霞 蔡美霞
• 来源期刊: 热科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氢化炉 流场 温度场
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 148-152
• 分类号: TK175
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8097.2013.02.010

摘要

利用计算流体力学软件,考虑包括质量传递、动量传递、热量传递模型,对18对棒西门子多晶硅氢化炉进行数值模拟,得到了多晶硅氢化炉内的流场、温度场,分别从轴向和径向对流动情况以及温度分布进行了分析.通过与实际生产情况进行比较,表明流场、温度场数值模拟的可靠性和准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周乃君	中南大学能源科学与工程学院	134	909	16.0	22.0
2	夏小霞	中南大学能源科学与工程学院	11	82	5.0	8.0
3	蔡美霞	中南大学能源科学与工程学院	2	2	1.0	1.0