大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺研究

• 作者: 朱衡
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 化学
• 关键词: 碳化硅反射镜 抛光工艺 大口径 碳化硅材料 数控 光学系统 光学材料 热力学性质
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: O623.11

摘要

碳化硅自从应用于光学系统以来一直以其独有的热力学性质而被当做光学系统中反射镜的优质材料，相对于传统的光学材料而言，它具有很高的硬度系数和较小的热扩散系数，在很多航空航天领域碳化硅材料的镜体得到了广泛的应用。然而，碳化硅高精度元件的高效率加工一直是碳化硅材料在光学系统中得到更广泛应用的瓶颈所在。