硬质合金球上纳米金刚石膜的形貌与力学性能

• 作者: 张廷飞 芶立 陈虹运
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 固体润滑 纳米金刚石 纳米压痕
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 1016-1020
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2919字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5mm硬质合金球体上沉积了5～20 μm厚的纳米金刚石膜.通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成份进行了表征.沉积膜表面呈现纳米金刚石典型“菜花”结构,晶粒度为10～20 nm,膜厚均匀,表面粗糙度随沉积膜厚度增加而增大.采用纳米压痕仪测试沉积膜硬度和弹性模量,沉积膜硬度接近40 GPa,弹性模量约为500 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	芶立	四川大学材料科学与工程学院	23	92	5.0	8.0
2	张廷飞	四川大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
3	陈虹运	四川大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0