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某多晶硅项目还原车间通风空调系统设计
某多晶硅项目还原车间通风空调系统设计
作者:
董玉平
阎宇宏
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
CVD还原车间
通风空调系统
设计
摘要:
依据青海省西宁市经济开发区某多晶硅项目CVD还原车间设计为背景,针对该多晶硅项目车间建筑构造和所处地理位置的气候特点、CVD还原车间厂房的生产类别、CVD还原区的工艺要求和生产过程散发的有害气体种类及有害气体的特性,详细介绍了CVD还原车间的通风空调系统设计特点.最后,指出了普通建筑围护结构很难保证房间正压要求的实际运行问题,希冀能对类似项目的设计提供参考.
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文献信息
篇名
某多晶硅项目还原车间通风空调系统设计
来源期刊
洁净与空调技术
学科
关键词
CVD还原车间
通风空调系统
设计
年,卷(期)
2013,(3)
所属期刊栏目
设计交流
研究方向
页码范围
76-78
页数
3页
分类号
字数
2755字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
董玉平
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
CVD还原车间
通风空调系统
设计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
洁净与空调技术
主办单位:
中国电子工程设计院
中国电子学会洁净技术分会
出版周期:
季刊
ISSN:
1005-3298
CN:
11-3395/TM
开本:
16开
出版地:
北京海淀区万寿路27号
邮发代号:
82-577
创刊时间:
1994
语种:
chi
出版文献量(篇)
1908
总下载数(次)
7
总被引数(次)
6339
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