聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品

• 作者: 刘庆 张伟 王雪丽 贾志宏
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 物理学
• 关键词: FIB TEM样品制备 V-Cut
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 420-425
• 页数: 6页
• 分类号: O766+.1
• 字数: 2196字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.1000-6281.2013.05.010

摘要

制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用.聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用.本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法(“V-cut”),并与传统的FIB制备TEM样品的方法(“U-cut”)进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	重庆大学材料科学与工程学院	102	1062	17.0	28.0
2	刘庆	重庆大学材料科学与工程学院	106	896	16.0	24.0
3	贾志宏	重庆大学材料科学与工程学院	13	186	6.0	13.0
4	王雪丽	重庆大学材料科学与工程学院	4	72	3.0	4.0