沉积层厚度对多层微悬臂梁振动特性的影响分析

• 作者: 许锐彬
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多层微悬臂梁 沉积厚度 有限元 固有频率
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 54-56
• 分类号: TH113
• 字数: 1571字
• 语种: 中文

摘要

针对多层微悬臂梁中沉积层厚度对整体结构固有频率的影响,运用多层微悬臂梁的弯曲振动方程,并结合边界条件建立起了多层微悬臂梁结构的有限元模型,重点分析了多层微悬臂梁结构的有限元建模方法及沉积层厚度对微梁结构振动特性的影响.数值计算结果表明,多层材料微梁结构中沉积层厚度对其固有频率将产生显著的影响,呈现出随着厚度的增加固有频率先降后升的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许锐彬	福建农林大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0