MEMS 航空微时代

• 作者: 韩颖
• 来源期刊: 航空兵器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 MEMS加速度计 陀螺仪 MEMS-IMU
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 导弹总体技术
• 页码范围: 18-21,51
• 页数: 5页
• 分类号: TJ761.1
• 字数: 3883字
• 语种: 中文

摘要

MEMS（Micro Electron Mechanic Systems）技术是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来， MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加速度计、 MEMS陀螺仪、MEMS-IMU惯性导航组合系统等目前在航空领域有一定应用前景的MEMS传感器，对这些传感器在国外的应用研究进行了汇总，最后，介绍国内已有初步进展的MEMS传感器设计应用，并指出我国的航空微时代的研究方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩颖		4	19	2.0	4.0