基底温度对α-C:H膜微观结构的影响

• 作者: 李钱陶 杨长城 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 基底温度 微结构 射频增强等离子体化学气相沉积 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 95-98
• 分类号: O481.1+1
• 语种: 中文

摘要

使用RF-PECVD法分别在基底温度为60℃、120℃和200℃的N型单晶锗表面制备了α-C:H膜,采用拉曼光谱、傅里叶变换红外吸收光谱和原子力显微镜等技术手段研究分析了α-C:H膜的价键组成及表面形貌,讨论了基底温度对α-C:H膜微结构及部分性能的影响.结果表明,在α-C:H膜沉积过程中,基底温度对膜层微观结构有较大影响,基底温度60℃时,膜层表面光滑、致密无石墨化现象.随着基底温度的升高,α-C:H膜中含H量和微晶石墨量逐渐增多,α-C:H膜层性能也逐步退化.