去润湿图案化制备TIPS-并五苯有机薄膜晶体管

• 作者: 冯翔 张俊 李曼菲 林广庆 邱龙臻
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 有机薄膜晶体管 去润湿图案化 电性能
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 器件物理及器件制备技术
• 页码范围: 338-343
• 页数: 6页
• 分类号: O753+.2
• 字数: 3172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20132803.0338

摘要

利用润湿/去润湿的方法配合旋涂工艺制备了图案化的TIPS-并五苯有机半导体薄膜,制备了顶接触有机薄膜晶体管(OTFTs).金相显微镜观察发现,转速的选择对TIPS-并五苯薄膜结晶形貌的影响较大.在1000～2000 r/min转速下制备的薄膜完整性好,结晶区域较大;而转速增加到3000 r/min后,难以获得完整的薄膜且晶粒尺寸变小.电学性能研究得到器件的输出曲线、转移曲线、开关电流比、阈值电压、场效应迁移率,发现结晶形貌好的器件具有更好的电学性能.1000 r/min转速下制备OTFT器件最大场效应迁移率为5.16×10-2 cm·V-1,s-1电流开关比为8×103.