超临界 CO2清洗在精微制造领域中研究与应用

• 作者: 丁立红 刘维桥 王创业 钱海峰 雷卫宁
• 来源期刊: 机械设计与制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超临界 CO2 清洗 精微制造
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 磼应用研究磾
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: TH162
• 字数: 3162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2013.12.014

摘要

阐述了超临界CO2流体特性，超临界表面清洗的原理、工艺以及在清洗过程中的独到优势，概述了超临界CO2流体在半导体微电子、精密机械以及其他领域清洗行业中的研究进展与应用，并对超临界清洗技术未来发展趋势进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷卫宁	江苏理工学院机械工程学院	62	124	6.0	7.0
2	刘维桥	江苏理工学院机械工程学院	22	53	4.0	5.0
3	钱海峰	江苏理工学院机械工程学院	22	32	4.0	5.0
4	丁立红	江苏理工学院机械工程学院	12	17	3.0	4.0
5	王创业	江苏理工学院机械工程学院	2	7	1.0	2.0