BFO/SNTO/SiO2/Si薄膜的制备及性能分析

• 作者: 刘慧芳 刘维 殷明志
• 来源期刊: 中国胶粘剂
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 BiFeO3薄膜 铁电性 介电性质 漏电电流 晶面参数
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 研制和应用
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TQ320.721
• 语种: 中文

摘要

以无机盐为原料,采用改进型溶胶-凝胶法在SNTO (SrNb0.05Ti0.95O3)/SiO2/Si底电极上制备了BFO (BiFeO3)薄膜;然后经550、600℃退火30 min后,得到BFO薄膜产品.研究结果表明:该电极上形成的BFO薄膜都呈现R3m(BaC2高压相)三万钙钛矿多晶结构,并具有(100)晶格取向,没有观察到不纯相;构成BFO薄膜的(100)、(110)晶面间距约为0.39、0.28 nm;经550、600℃退火处理后,该薄膜具有较大的2Pr(剩余极化强度),在250 kV/cm测试电场作用下,其2Pr分别为40.43、48.31μC/cm2,矫顽场分别为104、118 kV/cm;在300 kV/cm测试电场作用下,两者的漏电电流密度分别为10-5、10-4 A/cm2;在整个测试频率范围内,薄膜具有相对较小的介电损耗因子.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷明志		18	34	4.0	5.0
2	刘维		12	41	4.0	6.0
3	刘慧芳		2	0	0.0	0.0