铸造多晶硅少子寿命的热衰减研究

• 作者: 周浪 周潘兵
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铸造多晶硅 少子寿命 热衰减
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 734-740
• 页数: 7页
• 分类号: TK514
• 字数: 6017字
• 语种: 中文

摘要

研究了加热温度与冷却速率对热处理铸造多晶硅少子寿命和间隙铁含量的影响.实验结果表明,铸造多晶硅在300～ 1050℃范围加热40min,以50℃/s的速率快冷至室温会提高硅片的间隙铁含量,降低硅片的少子寿命,加热温度越高,快冷后硅片的间隙铁含量越高,少子寿命越低；铸造多晶硅在900～1050℃的范围加热,以50℃/s的速率快冷至室温,高温下固溶于硅中的铁原子约有10％会形成间隙铁,约90％形成铁沉淀.铸造多晶硅片分别经800、900和1000℃加热40min后在0.017 ～ 50℃/s的速率范围冷却,硅片间隙铁含量随冷却速率增加而增加,少子寿命随冷却速率增加而降低,加热温度越高,间隙铁含量上升的幅度越大,而少子寿命下降的幅度越大.