三氯氢硅湿法洗涤工艺应用效果分析

• 作者: 李耿灿
• 来源期刊: 河北化工
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 湿法洗涤 金属氯化物 应用
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 化学工艺与工程
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TQ124.4+16
• 语种: 中文

摘要

介绍了湿法洗涤工艺在三氯氢硅生产中的应用效果,对设备的选型、工艺参数确定、操作工艺进行了分析,通过增加洗涤工艺,可有效去除金属氯化物和细微硅粉,解决一级冷凝器频繁堵塞、操作环境恶劣、不能连续生产等问题,实现了安全生产,清洁生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李耿灿		2	0	0.0	0.0