KOH溶液制作类圆形硅膜阵列研究

• 作者: 杨海刚 秦瑞平 蒋玉荣 陈晨
• 来源期刊: 河南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 圆形硅膜 MEMS KOH 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TB32
• 字数: 1435字
• 语种: 中文

摘要

由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇(IPA)来改善KOH的腐蚀特性,在KOH与IPA混合腐蚀液体系中制备出类圆形硅膜阵列.通过扫描电镜观察腐蚀图形形貌,结果表明带有图案的N型衬底在质量分数为40％的KOH和IPA构成的混合溶液中,腐蚀出底面平整侧壁光滑的圆形硅膜阵列,并且初步探讨导电类型对腐蚀形貌影响机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晨	河南师范大学物理与电子工程学院	28	16	3.0	3.0
2	杨海刚	河南师范大学物理与电子工程学院	17	50	4.0	6.0
6	蒋玉荣	河南师范大学物理与电子工程学院	13	41	4.0	6.0
10	秦瑞平	河南师范大学物理与电子工程学院	10	27	3.0	5.0